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学术交流

学术报告:纳米计量关键技术及其应用

2025-07-22

报告时间2025723日(星期三)14:30

报告地点:科技楼236会议室

报 告 人:程鑫彬 教授

工作单位:同济大学物理科学与工程学院

举办单位:仪器科学与光电工程学院


报告简介

纳米计量是保证先进纳米制造的基础支撑,主要包括溯源至自然界常数、量值传递链、产业用标准片三大环节。报告将介绍基于量子化光晶格常数的纳米计量新技术,首先通过光晶格势阱可以操控冷原子排列成皮米精确度的长度和角度标准;然后将皮米精确度的长度标准物质嵌入到光栅干涉仪形成新的计量校准仪器;最后汇报基于纳米计量的跨尺度精准纳米制造技术,及其在集成电路和纳米光学领域的应用。系列研究构建了扁平化的纳米计量传递链,提升了计量精确度,扩展了应用面。

 

报告人简介

程鑫彬,同济大学物理科学与工程学院院长,同济大学精密光学工程技术研究所所长,国家杰出青年科学基金获得者,国家科技创新团队带头人,国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心(上海)主任。致力于纳米计量和微纳光学研究,系列创新工作为国家重大需求提供了核心器件、仪器与技术方案。承担了国家重大科技专项、国家重点研发计划、国家自然科学基金等科研项目,以第一/通讯作者在Light: Science & ApplicationsMeasurement Science and TechnologyScience AdvancesNature Communications等期刊发表文章八十余篇,在 OSASPIE顶级会议做特邀报告20余次。先后获上海市科技进步奖一等奖、中国计量测试学会科技进步奖一等奖、国家技术发明奖二等奖等奖项。担任光电期刊群《Opto-Electronic》副主编,《Fundamental Research》等期刊编委,ISO国际标准化组织光学材料与器件委员会委员,中国计量测试学会等学会理事。